制药用工业超纯水机系统设备主要由制备单元和储备与分配系统两部分组成，制药用蒸汽系统则主要由制备单元和分配系统两部分组成，这两部分系统是相似的。其中，制备单元主要包括软化水机、纯化水机、高纯水机、蒸馏水机及纯蒸汽发生器。